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请问「磁控溅射法」是什么意思?

2026-07-12 11:50:56

「磁控溅射法」读音

拼音 cí kòng jiàn shè fǎ,注音 ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ

拼音字母ci kong jian she fa
拼音首字母ckjsf
注音符号ㄘ ㄎㄨㄥ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ ㄈㄚ
注音首符号ㄘㄎㄐㄕㄈ

「磁控溅射法」释义

扩展释义 磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。

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