「聚焦环」读音

拼音 jù jiāo huán，注音 ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ

拼音字母	ju jiao huan
拼音首字母	jjh
注音符号	ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢ
注音首符号	ㄐㄐㄏ

「聚焦环」释义

扩展释义 聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。

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